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ASMR固晶机是一种用于半导体生产过程中固定晶圆的重要设备。为了确保固晶作业的顺利进行，操作人员需遵循以下指导原则。
首先，在进行固晶前，务必检查固晶机的运行状态，确保各项参数设置正确。检查真空系统、加热系统和压制装置的工作情况，确保设备无故障。
其次，制备晶圆时，要注意晶圆表面的清洁程度，任何污染物都可能影响固晶的质量。使用专用清洁剂和无尘布进行清洁，确保晶圆表面光滑、干燥。
在固晶过程中，要控制好固晶温度和时间，严格按照既定工艺参数进行操作。过高的温度或过长的固晶时间都可能导致晶圆的损坏或性能下降。
最后，在作业完成后，及时记录固晶过程中的关键数据，包括温度、时间等参数，以便后续分析和改进。同时，定期对固晶机进行维护和检修，确保设备长期稳定运行。
遵循以上指导，能够有效提高ASMR固晶作业的质量和效率。