上海作为国内半导体和电子制造的重要基地，拥有多家专注ASMR（高级封装技术）设备制造的厂家，例如：
1.上海微电子装备（SMEE）：提供先进封装光刻设备；
2.中微半导体（AMEC）：涉及刻蚀等封装关键工艺设备；
3.盛美半导体（ACMResearch）：专注清洗、电镀等封装环节设备。
建议根据具体需求（如工艺类型、设备精度）进一步筛选或联系厂商获取技术方案。
上海作为国内半导体和电子制造的重要基地，拥有多家专注ASMR（高级封装技术）设备制造的厂家，例如：
1.上海微电子装备（SMEE）：提供先进封装光刻设备；
2.中微半导体（AMEC）：涉及刻蚀等封装关键工艺设备；
3.盛美半导体（ACMResearch）：专注清洗、电镀等封装环节设备。
建议根据具体需求（如工艺类型、设备精度）进一步筛选或联系厂商获取技术方案。