ASMR固晶机作业前需要进行哪些设备检查?

作业前需确认以下事项: 1.电源与气源:检查设备供电稳定,气压值符合标准(通常0.4~0.6MPa); 2.吸嘴与固晶臂:确保无磨损或堵塞,位置校准准确; 3.材料准备:晶圆与基板放置正确,胶水/焊膏无过期或污染; 4.软件参数:核对程序中的固晶坐标、压力、温度等参数是否匹配当前产品; 5.安全装置:急停按钮、防护罩功能正常。 完成检查后需空载试运行,确认无异常再开始作业。ASMR固晶机作业前需要进行哪些设备检查?-asmr固晶机作业指导书