首先,应暂停设备并检查吸嘴是否存在堵塞或磨损,必要时进行清洁或更换。其次,确认顶针位置和高度是否合适,确保晶片能被顺利顶起。接着,在软件中校准视觉系统的识别参数,调整吸嘴的拾取高度和放置位置坐标。最后,通过试运行和显微镜观察,微调固晶压力与坐标偏移量,直至晶片放置精度符合工艺要求(通常误差应小于±10μm)。每次调整后需记录参数,确保生产一致性。
首先,应暂停设备并检查吸嘴是否存在堵塞或磨损,必要时进行清洁或更换。其次,确认顶针位置和高度是否合适,确保晶片能被顺利顶起。接着,在软件中校准视觉系统的识别参数,调整吸嘴的拾取高度和放置位置坐标。最后,通过试运行和显微镜观察,微调固晶压力与坐标偏移量,直至晶片放置精度符合工艺要求(通常误差应小于±10μm)。每次调整后需记录参数,确保生产一致性。