上海作为国内半导体产业的重要基地，拥有多家专注ASMR（高级硅微谐振器）封装设备的厂家，例如：
1.上海微电子装备（SMEE）：提供高精度封装解决方案，覆盖ASMR器件的封装需求。
2.中微半导体（AMEC）：其先进封装设备可适配微谐振器的特殊工艺要求。
3.本地创新企业：如矽睿科技等，专注于MEMS/ASMR的小批量定制化封装。
建议根据具体需求（如精度、产能、预算）进一步联系厂家获取技术方案。
上海作为国内半导体产业的重要基地，拥有多家专注ASMR（高级硅微谐振器）封装设备的厂家，例如：
1.上海微电子装备（SMEE）：提供高精度封装解决方案，覆盖ASMR器件的封装需求。
2.中微半导体（AMEC）：其先进封装设备可适配微谐振器的特殊工艺要求。
3.本地创新企业：如矽睿科技等，专注于MEMS/ASMR的小批量定制化封装。
建议根据具体需求（如精度、产能、预算）进一步联系厂家获取技术方案。